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影響激光測(cè)厚精度因素有哪些


目前,有些用戶會(huì)使用到激光進(jìn)行測(cè)厚,常常會(huì)詢問到‘影響激光測(cè)厚精度因素有哪些’。今天在這里,時(shí)代儀器小編將為大家一一解析,請(qǐng)大家往下關(guān)注。

做為使用激光位移傳感器組成測(cè)厚儀的使用者,再好的傳感器,如果使用不當(dāng),選型不當(dāng)(如:無同步端激光位移傳感器就不能用),會(huì)使精度下降,甚至測(cè)量失敗。

激光三角漫反射位移傳感器用于測(cè)厚有明顯優(yōu)點(diǎn):非常小的測(cè)量光斑,是點(diǎn)光斑面積,一般比面積型非接觸電容、電渦流傳感器需要的面積小很多,對(duì)被測(cè)體面積幾乎無要求,適合測(cè)量非常小面積尺寸厚度;較遠(yuǎn)的測(cè)量范圍起始間距。它比非接觸電容、電渦流傳感器起始間距大很多,測(cè)量間距定制最大可以達(dá)到1000mm。這樣傳感器可以遠(yuǎn)離被測(cè)體,免受碰壞,及被測(cè)體熱輻射影響;有很大的測(cè)量范圍,這是其它傳感器很難做到的;與被測(cè)體材料無關(guān),即金屬非金屬體,非透明有漫反射條件表面都能測(cè)。和其它傳感器測(cè)厚一樣,要實(shí)現(xiàn)精密測(cè)厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測(cè)不準(zhǔn)。

所以,精密測(cè)厚,選精密激光位移傳感器很重要,但如果兩個(gè)傳感器不能同步工作,安裝不同軸,則根本測(cè)不準(zhǔn):

1、用單激光位移傳感器測(cè)厚
被測(cè)體放在測(cè)量平臺(tái)上,測(cè)量出傳感器到平臺(tái)表面距離,然后再測(cè)出傳感器到被測(cè)體表面間距,經(jīng)計(jì)算后測(cè)出厚度。要求被測(cè)體與測(cè)量平臺(tái)之間無氣隙,被測(cè)體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況能實(shí)現(xiàn)。

2、雙激光傳感器測(cè)厚
在被測(cè)體上方和下方各安裝一個(gè)激光位移傳感器,被測(cè)體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個(gè)傳感器之間距離,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y(cè)體之間距離,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y(cè)體之間距離。

在線厚度測(cè)量用這種方法優(yōu)點(diǎn)是可消除被測(cè)體振動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。但同時(shí)對(duì)傳感器安裝和性能有要求。保證測(cè)量準(zhǔn)確性的條件是:兩個(gè)傳感器發(fā)射光束必須同軸,以及兩個(gè)傳感器掃描必須同步。同軸是靠安裝實(shí)現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。

不同步將代來很大誤差:如果被測(cè)體存在振動(dòng)頻率20HZ,振幅1mm,如果信號(hào)不同步延遲1ms,那么就會(huì)帶來125µm誤差。安裝使兩個(gè)激光同軸,不但確保被測(cè)體同一位置上的厚度,同時(shí)降低了被測(cè)體傾斜帶來的誤差。以被測(cè)體運(yùn)動(dòng)方向不同軸為例,當(dāng)不同軸1mm,被測(cè)體傾斜2°可帶來35µm誤差。

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